来源：上海证券报 作者：温婷

MEMS芯片中的齿轮，可与螨虫腿一较大小。这些小而美的精密MEMS传感器芯片，构成了信息技术的感知层，并服务于5G环境下的物联网、人工智能等行业。正在冲刺科创板的敏芯股份，就是一家MEMS传感器芯片龙头企业。

创立13年来，公司创始人李刚带领敏芯股份从零开始打通MEMS产业链，实现了MEMS传感器全生产环节的国产化，并吸引了芯动能、国投创合、中芯聚源、华登国际、苏州元禾等明星股东的轮番加持。其中，芯动能和中芯聚源是国家集成电路产业投资基金股份有限公司投资的基金。此次冲刺科创板，公司计划募资投向MEMS麦克风生产基地新建项目、MEMS压力传感器生产项目、MEMS传感器技术研发中心建设项目等，进一步抓住国内MEMS进口替代和创新的产业机会，将MEMS的“中国芯”做大做强。

专注MEMS：

进入华为等品牌供应链

MEMS传感器芯片，简而言之就是利用半导体制造技术，在硅片上制造能够采集外界信号的电子机械系统。随着5G技术和物联网的发展，MEMS 产品已广泛应用于消费电子、汽车电子、工业自动化、医疗电子等领域。

审视科创板市场，尚无专营MEMS的企业，李刚期待敏芯股份成为第一家专注MEMS的科创板公司。热烈期待的背后，是李刚在该领域20多年的深耕。

本科学习微电子专业的李刚，1997年进入北大攻读硕士，彼时正值国家MEMS重点实验室成立，李刚的硕博研究都是往MEMS方向延伸。“我的职业生涯就是从科技个体户到科技集体户的进程。唯一不变的，是一直以MEMS为中心。”

招股书申报稿显示，敏芯股份是一家以MEMS传感器研发与销售为主的半导体芯片设计公司，目前主要产品线包括MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器。经过多年的技术积累和研发投入，公司在上述MEMS传感器芯片设计、晶圆制造、封装和测试等环节都拥有自主研发能力和核心技术，同时能够自主设计为MEMS传感器芯片提供信号转化、处理或驱动功能的ASIC芯片，并实现了MEMS传感器全生产环节的国产化。

目前使用敏芯股份产品的品牌有华为、传音、小米、百度、阿里巴巴、联想、 索尼、LG、乐心医疗、九安医疗等。公司与中芯国际、华润上华和华天科技等行业内主要的晶圆制造厂商和封装厂商均建立了长期合作关系。此外，公司正在自建部分封装生产线。

李刚表示，虽然MEMS兴起于欧洲和美国，但在产业转移时直接转到中国承接，这不同于传统集成电路产业迁移路径，可谓中国的产业级机会。

这个机会有多大，谁在逐鹿？“MEMS目前有近200亿美元的市场规模，但单一市场相对细分，大公司不愿意投入资源去精耕细作，产业竞争成了中小型公司的角逐。”李刚表示，目前来看，行业格局未定，且新机会正在孕育。“MEMS不是产品机会，而是产业机会，可能出现马太效应。”李刚如此判断，这也是他坚持从全产业链的角度深耕MEMS芯片的初心。

从零开始：

实现全生产环节国产化

自2007年成立以来，敏芯股份从MEMS芯片设计开始介入，同时深度参与晶圆制造和封装的工艺改进过程。

招股书申报稿显示，在公司成立之初，国内晶圆制造企业和封装企业普遍缺乏专业的MEMS产品生产体系。公司经过十余年的研发投入，完成了MEMS产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作和核心技术积累，并帮助中芯国际、华润上华和华天科技等国内半导体制造厂商开发了专业的MEMS晶圆制造与封装测试工艺，实现了全生产环节的国产化。

没有金刚钻，不揽瓷器活。MEMS传感器芯片的生产工艺具有较高的定制化特点，因此不仅设计难度高，且生产工艺也要按需开发。

“制造和封装厂无法完成工艺流程时，我们的工程师就要帮忙进产线调工艺。”李刚坦言。因此，芯片设计和工艺研发能力都构成了MEMS传感器行业的竞争门槛。

敏芯股份在创业之初被倒逼形成的一整套工艺和研发模式，如今成为公司核心竞争力。“我们不怕被竞争对手卡脖子，从测试、材料到工艺，公司在各方面积累了技术和经验。”李刚表示，作为国内MEMS行业的先行者，公司除了拥有MEMS传感器芯片的自主研发设计能力，还积累了OCLGA封装技术、压力传感器SENSA工艺、惯性传感器WLCSP封装技术等晶圆制造、封装和测试环节的先进技术工艺，并深度参与了国内半导体制造厂商MEMS工艺的开发。

目前，公司晶圆的主要供应商为中芯国际、中芯绍兴和华润上华，封装代工厂主要是华天科技。“本土化的生产体系保障了公司MEMS传感器产品的稳定供应，不断提升公司产品的性能和性价比优势，能够及时响应国内客户的需求，并通过与本土供应商的深度合作实现产品的快速更新升级。”公司在招股书中表示。

在采访中，李刚数次提到：“最让我们自豪的，是敏芯股份对于MEMS全产业链本土化的贡献，敏芯的发展就是国内MEMS产业发展的代表和缩影。”

厚积薄发：

积极抢占5G时代机遇

敏芯股份的长期精耕细作，不仅实现了全产业链本土化目标，而且在专利技术方面硕果累累，业绩也迅猛增长。

截至2019年6月30日，公司已在MEMS传感器领域积累了境内外发明专利38项，正在申请的境内外发明专利16项。2016至2018年，公司营业收入分别为7213.69万元、11309.84万元和25271.34万元，年复合增长率为87.17%；净利润分别为393.95万元、1527.17万元和6138.37万元，年复合增长率为294.74%。

从收入组成来看，公司在压力传感器和MEMS麦克风领域已经建立了先发优势，特别是麦克风领域的出货量排名靠前。2016至2018年，及2019年1至6月，MEMS麦克风收入占比均达到90%左右。此次冲刺科创板，公司计划募资投向MEMS麦克风生产基地新建项目、MEMS压力传感器生产项目、MEMS传感器技术研发中心建设项目及补充流动资金。

对敏芯股份来说，可谓生逢其时——不仅乘科创板东风，且迎5G时代机遇，公司正积极布局未来。“我们将把握5G商用化、物联网对智能终端设备格局的改变，基于已有的基础研发储备，积极研发新的具有广阔市场空间的产品线，抢占市场先机。”

在李刚看来，物联网、人工智能产业的发展需要大量体积更小、功耗更低、性能更高的MEMS器件。MEMS产业的发展历程虽短，但潜力巨大，中国企业已经实现了全生产环节的国产化，有能力在未来的竞争中占据一席之地。

招股书申报稿显示，公司的汽车后装进气歧管压力传感器、汽车后装机油压力传感器模块、汽车燃油泵传感器模块等产品正陆续进入批量供货阶段。李刚透露，在现有的全产业链研发和技术实力基础上，公司希望借力资本市场，抓住国内MEMS进口替代和创新的产业机会。